Kustomisasi untuk memenuhi permintaan khusus Anda
Standardisasi untuk menurunkan biaya produksi Anda
-- Kami Lebih Fokus pada Aplikasi
2-MultiTech- DLC IPG film hitam coating.pdfsilahkan dowload brosur disini untuk informasi lebih lanjut
Apa itu MF Sputtering?
Dibandingkan dengan sputtering DC dan RF, sputtering Frekuensi Menengah telah menjadi teknik sputtering film tipis utama untuk produksi massal pelapisan, terutama untuk deposisi film pelapis film dielektrik dan non-konduktif pada permukaan seperti pelapis optik, panel surya, banyak lapisan , film bahan komposit dll.
Ini menggantikan RF sputtering karena dioperasikan dengan kHz daripada MHz untuk laju deposisi yang jauh lebih cepat dan juga dapat menghindari keracunan Target selama deposisi film tipis majemuk seperti DC.
Target sputtering MF selalu ada dengan dua set.Dua katoda digunakan dengan arus AC bolak-balik di antara keduanya yang membersihkan permukaan target dengan setiap pembalikan untuk mengurangi muatan yang menumpuk pada dielektrik yang mengarah ke busur yang dapat memuntahkan tetesan ke dalam plasma dan mencegah pertumbuhan film tipis yang seragam --- yang kami sebut Target Poisoning.
Sumber Deposisi
Sumber Busur Melingkar yang Dikemudikan untuk penguapan target logam padat;
2/4/6 pasang katoda sputtering silinder MF untuk deposisi lapisan film tipis grafit;
Catu Daya Bias untuk pengeboman ion untuk membentuk area plasma untuk pra-perawatan;
Unit Sumber Ion Linier Anoda (untuk opsional) pemrosesan PACVD dan PECVD;
Cryopump ( Polycold) untuk kondensasi molekul air ( untuk opsional)
Modul lainnya
1. Ruang Vakum
2. Sistem Pemompaan Vakum Rouhging (Paket Pompa Pendukung)
3. Sistem Pemompaan Vakum Tinggi (Pompa Molekul Suspensi Magnetik)
4. Kontrol Listrik dan Sistem Operasi
5. Sistem Fasilitas Bantu (Sub Sistem)
6. Sistem Deposisi: Katoda sputtering MF, catu daya MF, sumber Ion Catu Daya Bias untuk opsional
Kinerja Mesin Pelapis
1. Tekanan Vakum Utama: lebih baik dari 5.0 × 10-6Tor.
2. Tekanan Vakum Operasi: 1.0 × 10-4Tor.
3. Waktu Pemompaan: dari 1 atm hingga 1,0 × 10-4Torr≤ 3 menit (suhu kamar, ruang kering, bersih dan kosong)
4. Material metalizing (sputtering + Arc evaporation): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, TiN, TiC, TiAlN, CrN, CrC, dll.
5. Model Operasi: Penuh Secara Otomatis/Semi-Otomatis/Manual
| Keterangan |
RT1000-DLC |
RT1000-IPG
|
RT1250-HITAM |
RT1612-HITAM
|
| Keuntungan Teknis |
Plug-in Sistem terintegrasi untuk instalasi cepat
Waktu siklus pendek untuk pelapis dekoratif
Hasil tinggi dari produk pelapis
Kepadatan tinggi dan keseragaman yang sangat baik
Ketahanan abrasi dan korosi yang tinggi
Lebih dari sekadar kinerja estetika tetapi fungsional
|
Volume lebih tinggi
Beberapasumber deposisi untuk deposisi cepat
Busur gabungan dan beberapa katoda sputtering: busur untuk adhesi yang baik dan lapisan ikatan yang kuat, deposisi sputtering untuk pelapis tertentu.
|
| Aplikasi Utama |
Lapisan DLC hitam pada insutrments medis, perhiasan, bagian jam tangan.
Emas murni 24K / pelapis paduan emas 18K pada produk mewah: aksesori logam merek, dll.
Industri mikroelektronika
|
Benda kerja sedang dan besar: sendok garpu SS, gagang pintu, perlengkapan kamar mandi, komponen otomotif, olahraga, peralatan rumah tangga, peralatan dapur dan bingkai spektral, dll. |
| Kamar Deposisi |
1000 * H1000mm
|
1250 * H1250mm
|
1600 * H1250mm
|
|
Diameter beban
(Maks.)
|
6 * 250mm
12 * 120mm
|
8*φ270mm 10*φ230mm
|
10*φ300mm 16*200mm
|
Tinggi beban
(Efektif) |
650mm |
900mm |
900mm |
| Katoda Deposisi |
5 busur + 4 pasang MF silinder sputter |
Opsi A: 8 arc + 1 set DC planar sputter;
Opsi B: 5 busur + 2 set sputter planar DC
|
7 busur + 3 (atau 4) pasang sputter silinder MF |
12 busur + 4 (atau 6 ) pasang sputter silinder MF |
| Sistem Operasi & Kontrol |
Siemens PLC + Komputer Industri + RoyalTech.Program Operasi
Tersedia untuk operasi dan diagnosis jarak jauh
|
Konfigurasi ini standar, untuk pasar berkembang tertentu dan pelapis khusus baru, konfigurasi dan modifikasi yang disesuaikan tersedia berdasarkan permintaan.
Komisioning Program Instalasi Sistem Vakum
Silakan hubungi kami untuk spesifikasi lebih lanjut, Royal Technology merasa terhormat untuk memberikan Anda solusi pelapisan total.
Pesan Anda harus antara 20-3.000 karakter!
