Modul Sel Bahan Bakar SiC Sistem Sputtering PECVD / Peralatan Selam Magnetron Sputtering Lapisan Hidrogen
SiC Fuel Cell Module Sputtering System Spesifikasi
MODEL | RTSP1213-DC | |||||||||
BAHAN | Baja Tahan Karat (S304) | |||||||||
UKURAN KAYU | Φ1250 * 1350mm (H) | |||||||||
JENIS CHAMBER | Struktur depan dan belakang 2 - pintu, Vertikal | |||||||||
PAKET POMPA SINGLE | Pompa Vakum Piston Rotary | |||||||||
Pompa Vakum Akar | ||||||||||
Pompa Molekuler Suspensi Magnetik | ||||||||||
Rotary Vane Pump (Holding Pump) | ||||||||||
TEKNOLOGI | Magnetron Sputtering, Sumber Ion PECVD | |||||||||
SUMBER DAYA LISTRIK | Sputtering power supply + Bias Power supply + Sumber Ion | |||||||||
SUMBER DEPOSISI | 2 pasang DC / RF Sputtering Cathodes + (2 pasang menggunakan cadangan) + Sumber Ion | |||||||||
KONTROL | PLC + Layar Sentuh | |||||||||
GAS | Gas Mass Flow Meter (Ar, N2, C2H2, O2) Argon, Nitrogen dan Ethyne, Oksigen | |||||||||
SISTEM KESELAMATAN | Banyak pengaman interlocks untuk melindungi operator dan peralatan | |||||||||
PENDINGINAN | Air Pendingin | |||||||||
PEMBERSIHAN | Glow Discharge / Sumber Ion | |||||||||
POWER MAX. | 150KW | |||||||||
KONSUMSI PEKERJAAN RATA-RATA | 75KW |
The SiC Fuel Cell Module Sputtering System dirancang khusus dan dikembangkan untuk aplikasi vechiles FCV. FCV adalah nama pendek dari Fuel Cell Vehicle, ini adalah teknologi terbaru untuk mobil hijau generasi berikutnya. Ini dapat menghasilkan energi listrik secara terus menerus dengan reaksi elektrokimia antara oksigen dan hidrogen. Ini berbeda dari baterai primer seperti sel kering dan baterai isi ulang yang perlu mengulang pengisian.
Teknologi inti adalah bagaimana menghasilkan energi listrik dengan modul daya sel bahan bakar melalui reaksi elektrokimia antara hidrogen sebagai bahan bakar dan oksigen.
Sel bahan bakar hidrogen sebagai bagian terpenting dari modul daya, ilmuwan, insinyur, profesor dari organisasi transportasi dan manufaktur kendaraan di seluruh dunia telah membuat ribuan pengujian dan akhirnya menemukan proses yang tepat.
Modul Sistem Sel Bahan Bakar Hidrogen Sputtering dengan Teknologi PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) untuk menyimpan keseragaman yang tinggi, film tipis adhesi SiC yang kuat.
Mesin sputtering sel bahan bakar hidrogen mengandung sumber ion, katoda sputtering yang seimbang / tidak tercampur; dengan sistem pemompaan vakum volume besar dan stabil.
Sistem rak dan jig yang dirancang khusus dapat membawa keluar-bergerak sepenuhnya untuk pemuatan / pembongkaran substrat yang nyaman.
Silakan hubungi kami untuk spesifikasi lebih lanjut, Royal Technology merasa terhormat untuk memberikan Anda solusi total pelapisan.